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出版社：中国宇航出版社
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  • 硅微机械传感器

    硅微机械传感器

    M.ELWENSPOEK  /  2003-10-10  /  中国宇航出版社
    ¥26.3(7.5折)定价:¥35.0

    《硅微机械传感器》详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。因为设计和制造传感器需要多学科的知识，只有经过电学、机械工程、物理和化学培训的工程师才能够进入这个领域并胜任此项工作。为了满足这个需求，《硅微机械传感器》从有关硅微机械传感器设计所需的基本科学知识开始，论述了包括物理定律的按比例缩小、梁和膜变形的力学、传感原理、流体流动和热传递的基本规律以及相关的电子电路等众多技术环节。此外还向读者介绍了硅微机械加工工艺和传感器封装的基本知识，

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