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出版社：中国科学技术大学出版社
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  • 微机电系统工程基础

    微机电系统工程基础

    秦丰华  /  2010-01-01  /  中国科学技术大学出版社
    ¥29.6(7.8折)定价:¥38.0

    本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章，较为详细介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作原理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基本知识，分析了微系统中的工程特点等...

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