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  • 极紫外光刻

    极紫外光刻

    [美]哈利·杰·莱文森 著，高伟民 译  /  2022-09-01  /  上海科学技术出版社
    ¥71.7(5.6折)定价:¥128.0
    全场百万图书折上9折

    本书是一本论述极紫外光刻技术的近期新的专著，该书综合地介绍了极紫外光刻技术相关联的各个重要方面及其发展历程，不但论述极紫外光源、极紫外光刻曝光系统、极紫外掩模版、极紫外光刻胶、极紫外计算光刻的技术内容，还讨论了极紫外光刻生态系统的其他重要方面，如极紫外光刻工艺特点和控制，极紫外光刻量测的特殊要求，极紫外光刻的成本计算，作者最后还讨论了极紫外光刻未来的各种延伸技术...

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