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MEMS传感器接口ASIC集成技术
¥51.6(6折)定价:¥86.0本书介绍了以微纳米惯性器件芯片级集成为代表的MEMS集成传感器的起源、历史进程、国内外的发展状况。重点阐述了MEMS集成压力传感器,MEMS加速度计接口ASIC芯片及其集成化技术,MEMS陀螺接口ASIC芯片及其芯片级集成技术, MEMS磁传感器、微麦克风、热红外传感器等的接口ASIC芯片及其芯片级集成技术。分析了MEMS传感器的系统的建模与仿真,信号调理电路,传感器接口ASIC芯片设计、测试与MEMS传感器的匹配,并对目前国际上ME