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µÚ1Õ Ge´ø϶ÀàÐÍת±äÀíÂÛ 1 1.1 Ge´ø϶ÀàÐÍת±ä½¨Ä£ 2 1.1.1 Ge°ëµ¼ÌåÓ¦±äÕÅÁ¿ 2 1.1.2 Ge°ëµ¼Ìåµ¼´øÐαäÊÆ 5 1.2 Ge´ø϶ÀàÐÍת±ä¹æÂÉ 6 1.2.1 ½öÓ¦Á¦×÷Óà 6 1.2.2 ºÏ½ð»¯×÷Óà 11 1.2.3 Ó¦Á¦ÓëºÏ½ð»¯¹²×÷Óà 14 1.3 ±¾ÕÂС½á 15 Ï°Ìâ 16 µÚ2Õ PDª²Ge¸ÄÐÔ°ëµ¼ÌåÄÜ´ø½á¹¹ 17 2.1 PDª²Ge¼Û´øÐαäÊÆÀíÂÛ 17 2.2 PDª²GeÄÜ´øE-k¹ØϵģÐÍ 19 2.2.1 PDª²Geµ¼´øE-k¹Øϵ 19 2.2.2 PDª²Ge¼Û´øE-k¹Øϵ 20 2.3 PDª²GeÄÜ´ø½á¹¹Ä£ÐÍ 25 2.3.1 µ¼´ø½á¹¹Ä£ÐÍ 25 2.3.2 ¼Û´ø½á¹¹Ä£ÐÍ 26 2.4 ±¾ÕÂС½á 30 Ï°Ìâ 31 µÚ3Õ DRª²Ge1-xSnxºÍDBTSª²Ge1-xSnx¸ÄÐÔ°ëµ¼ÌåÄÜ´ø½á¹¹ 32 3.1 DRª²Ge1-xSnxºÍDBTSª²Ge1-xSnx ÄÜ´øE-k¹ØϵģÐÍ 32 3.2 DRª²Ge1-xSnxÄÜ´ø½á¹¹Ä£ÐÍ 34 3.2.1 DRª²Ge1-xSnxµ¼´ø¡¢¼Û´ø½á¹¹Ä£ÐÍ 35 3.2.2 DRª²Ge1-xSnxÔØÁ÷×ÓÓÐЧÖÊÁ¿Ä£ÐÍ 37 3.3 DBTSª²Ge1-xSnxÄÜ´ø½á¹¹Ä£ÐÍ 41 3.3.1 DBTSª²Ge1-xSnx ¦£µã´¦Äܼ¶ 41 3.3.2 DBTSª²Ge1-xSnxµ¼´ø¡¢¼Û´ø½á¹¹Ä£ÐÍ 43 3.3.3 DBTSª²Ge1-xSnxÔØÁ÷×ÓÓÐЧÖÊÁ¿ 48 3.4 ±¾ÕÂС½á 52 Ï°Ìâ 52 µÚ4Õ DRª²Ge1-xSnxºÍPDª²GeÄÜ´øµ÷ÖÆ 54 4.1 DRª²Ge1-xSnx½û´ø¿í¶Èµ÷ÖÆ 54 4.1.1 DRª²Ge1-xSnx0¡ãµ¥ÖáÓ¦Á¦½û´ø¿í¶Èµ÷ÖÆ 55 4.1.2 DRª²Ge1-xSnx45¡ãµ¥ÖáÓ¦Á¦½û´ø¿í¶Èµ÷ÖÆ 57 4.2 PDª²Ge½û´ø¿í¶Èµ÷ÖÆ 58 4.2.1 ¸ÄÐÔÕà 0¡ãµ¥ÖáÓ¦Á¦½û´ø¿í¶Èµ÷ÖÆ 58 4.2.2 ¸ÄÐÔÕà 45¡ãµ¥ÖáÓ¦Á¦½û´ø¿í¶Èµ÷ÖÆ 61 4.3 DRª²Ge1-xSnxºÍPDª²Ge PLÆ× 62 4.4 ±¾ÕÂС½á 65 Ï°Ìâ 65 µÚ5Õ DRª²Ge1-xSnxºÍPDª²GeÔØÁ÷×ÓǨÒÆÂÊ 67 5.1 DRª²Ge1-xSnxÔØÁ÷×ÓÉ¢Éä»úÖÆ 67 5.2 DRª²Ge1-xSnxÔØÁ÷×ÓǨÒÆÂÊ 70 5.3 PDª²GeÔØÁ÷×ÓÉ¢ÉäÓëǨÒÆÂÊ 74 5.4 ±¾ÕÂС½á 76 Ï°Ìâ 76 µÚ6Õ ¸ÄÐÔÕà°ëµ¼ÌåµÄ¹âѧÌØÐÔ 78 6.1 ¸ÄÐÔÕർ´øÔØÁ÷×Óͳ¼Æ·Ö²¼Ä£ÐÍ 78 6.2 ¸ÄÐÔÕà°ëµ¼Ìå×¢ÈëÔØÁ÷×Ó¸´ºÏ 82 6.2.1 GeÖÐ×¢ÈëÔØÁ÷×Ó¸´ºÏ·½Ê½ 82 6.2.2 ×¢Èë·ÇƽºâÔØÁ÷×ÓÊÙÃüÄ£ÐÍ 83 6.3 ¸ÄÐÔÕà°ëµ¼ÌåµÄÄÚÁ¿×ÓЧÂÊÄ£ÐÍ 87 6.4 ¸ÄÐÔÕà°ëµ¼ÌåÕÛÉäÂÊÄ£ÐÍ 92 6.5 ±¾ÕÂС½á 94 Ï°Ìâ 94 µÚ7Õ DRª²Ge1-xSnxºÍPDª²Ge MOS·´ÐͲãÄÜ´øÓëǨÒÆÂÊ 95 7.1 ¸ÄÐÔÕà MOS·´ÐͲãÄÜ´øÀíÂÛ»ù´¡ 95 7.2 DRª²Ge1-xSnxMOS·´ÐͲãÄÜ´øÓëǨÒÆÂÊ 97 7.3 PDª²Ge MOS·´ÐͲãÄÜ´øÓëǨÒÆÂÊ 99 7.4 ±¾ÕÂС½á 105 Ï°Ìâ 105 ²Î¿¼ÎÄÏ× 106