扫一扫
关注中图网
官方微博
本类五星书更多>
-
>
湖南省志(1978-2002)?铁路志
-
>
公路车宝典(ZINN的公路车维修与保养秘籍)
-
>
晶体管电路设计(下)
-
>
无头案:雍正暴亡之谜
-
>
基于个性化设计策略的智能交通系统关键技术
-
>
花样百出:贵州少数民族图案填色
-
>
识木:全球220种木材图鉴
晶圆键合手册 版权信息
- ISBN:9787118103175
- 条形码:9787118103175 ; 978-7-118-10317-5
- 装帧:一般胶版纸
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 所属分类:>
晶圆键合手册 本书特色
《晶圆键合手册》主要内容包括:界面反应、键合电流、阳极键合所用的玻璃、键合质量的表征、真空密封腔体内的气压、阳极键合对柔性结构的影响、阳极键合过程中器件的电学退化、钠污染导致的退化等。
晶圆键合手册 内容简介
《晶圆键合手册》主要内容包括:界面反应、键合电流、阳极键合所用的玻璃、键合质量的表征、真空密封腔体内的气压、阳极键合对柔性结构的影响、阳极键合过程中器件的电学退化、钠污染导致的退化等。
晶圆键合手册 目录
**部分 技术
A.黏合剂和阳极键合
第1章 玻璃料晶圆键合
1.1 玻璃料键合原理
1.2 玻璃料材料
1.3 丝网印刷:将玻璃料涂覆到晶圆上的工艺
1.4 热处理:将印刷浆料转变为玻璃的键合工艺
1.5 晶圆键合工艺:由玻璃料中间层形成基本的晶圆到晶圆黏合
1.6 玻璃料键合的特性
1.7 玻璃料晶圆键合的应用
1.8 结论
参考文献
第2章 利用旋涂玻璃作为键合材料的晶圆键合
2.1 旋涂玻璃材料
2.2 采用SOG层的晶圆键合
2.2.1 试验
2.2.2 利用硅酸盐SOG层的晶圆键合
2.2.3 平坦化SOG的晶圆键合
2.2.4 利用SOG层进行晶圆键合的应用
2.2.5 结论
参考文献
第3章 聚合物晶圆键合
3.1 引言
3.2 聚合物黏合剂
3.2.1 聚合物黏结机制
3.2.2 聚合物黏合剂的性能
3.2.3 用于晶圆键合的聚合物黏合剂
3.3 聚合物黏合剂晶圆键合技术
3.3.1 聚合物黏合剂晶圆键合工艺
3.3.2 局部聚合物黏合剂晶圆键合
3.4 在聚合物黏合剂晶圆键合中晶圆到晶圆对准
3.5 聚合物黏合剂晶圆键合工艺和流程实例
3.5.1 用热固性聚合物键合进行永久晶圆键合(BCB)或临时晶圆键合(mr-I9000)
3.5.2 采用热塑性聚合物(HD-3007)的临时和永久性晶圆键合
3.6 总结和结论
参考文献
第4章 阳极键合
4.1 引言
4.2 阳极键合机制
4.2.1 玻璃极化
4.2.2 实现紧密接触
4.2.3 界面反应
4.3 键合电流
4.4 阳极键合所用的玻璃
4.5 键合质量的表征
4.6 真空密封腔体内的气压
4.7 阳极键合对柔性结构的影响
4.8 阳极键合过程中器件的电学退化
4.8.1 钠污染导致的退化
4.8.2 高电场导致的退化
4.9 薄膜键合
4.10 结论
参考文献
B.直接晶圆键合
第5章 直接晶圆键合
5.1 引言
5.2 表面化学与物理
5.3 晶圆键合技术
5.3.1 亲水性表面晶圆键合
5.3.2 疏水性晶圆键合
5.3.3 低温晶圆键合
5.3.4 超高真空下的晶圆键合
5.4 键合的界面特性
5.5 晶圆键合的应用
5.5.1 先进微电子的衬底
5.5.2 微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)
5.6 结论
参考文献
第6章 等离子体活化键合
6.1 引言
……
第二部分 应用
A.黏合剂和阳极键合
第1章 玻璃料晶圆键合
1.1 玻璃料键合原理
1.2 玻璃料材料
1.3 丝网印刷:将玻璃料涂覆到晶圆上的工艺
1.4 热处理:将印刷浆料转变为玻璃的键合工艺
1.5 晶圆键合工艺:由玻璃料中间层形成基本的晶圆到晶圆黏合
1.6 玻璃料键合的特性
1.7 玻璃料晶圆键合的应用
1.8 结论
参考文献
第2章 利用旋涂玻璃作为键合材料的晶圆键合
2.1 旋涂玻璃材料
2.2 采用SOG层的晶圆键合
2.2.1 试验
2.2.2 利用硅酸盐SOG层的晶圆键合
2.2.3 平坦化SOG的晶圆键合
2.2.4 利用SOG层进行晶圆键合的应用
2.2.5 结论
参考文献
第3章 聚合物晶圆键合
3.1 引言
3.2 聚合物黏合剂
3.2.1 聚合物黏结机制
3.2.2 聚合物黏合剂的性能
3.2.3 用于晶圆键合的聚合物黏合剂
3.3 聚合物黏合剂晶圆键合技术
3.3.1 聚合物黏合剂晶圆键合工艺
3.3.2 局部聚合物黏合剂晶圆键合
3.4 在聚合物黏合剂晶圆键合中晶圆到晶圆对准
3.5 聚合物黏合剂晶圆键合工艺和流程实例
3.5.1 用热固性聚合物键合进行永久晶圆键合(BCB)或临时晶圆键合(mr-I9000)
3.5.2 采用热塑性聚合物(HD-3007)的临时和永久性晶圆键合
3.6 总结和结论
参考文献
第4章 阳极键合
4.1 引言
4.2 阳极键合机制
4.2.1 玻璃极化
4.2.2 实现紧密接触
4.2.3 界面反应
4.3 键合电流
4.4 阳极键合所用的玻璃
4.5 键合质量的表征
4.6 真空密封腔体内的气压
4.7 阳极键合对柔性结构的影响
4.8 阳极键合过程中器件的电学退化
4.8.1 钠污染导致的退化
4.8.2 高电场导致的退化
4.9 薄膜键合
4.10 结论
参考文献
B.直接晶圆键合
第5章 直接晶圆键合
5.1 引言
5.2 表面化学与物理
5.3 晶圆键合技术
5.3.1 亲水性表面晶圆键合
5.3.2 疏水性晶圆键合
5.3.3 低温晶圆键合
5.3.4 超高真空下的晶圆键合
5.4 键合的界面特性
5.5 晶圆键合的应用
5.5.1 先进微电子的衬底
5.5.2 微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)
5.6 结论
参考文献
第6章 等离子体活化键合
6.1 引言
……
第二部分 应用
展开全部
书友推荐
- >
莉莉和章鱼
莉莉和章鱼
¥18.1¥42.0 - >
名家带你读鲁迅:故事新编
名家带你读鲁迅:故事新编
¥13.0¥26.0 - >
有舍有得是人生
有舍有得是人生
¥31.5¥45.0 - >
伊索寓言-世界文学名著典藏-全译本
伊索寓言-世界文学名著典藏-全译本
¥6.1¥19.0 - >
月亮与六便士
月亮与六便士
¥13.4¥42.0 - >
新文学天穹两巨星--鲁迅与胡适/红烛学术丛书(红烛学术丛书)
新文学天穹两巨星--鲁迅与胡适/红烛学术丛书(红烛学术丛书)
¥11.0¥23.0 - >
月亮虎
月亮虎
¥17.8¥48.0 - >
【精装绘本】画给孩子的中国神话
【精装绘本】画给孩子的中国神话
¥17.6¥55.0
本类畅销
-
塞斯纳172飞机与飞行模拟
¥47.6¥68 -
罗尔斯·罗伊斯300型航空涡轮轴发动机培训教程
¥46.5¥56 -
火箭发动机燃烧原理
¥15.4¥48 -
舰载机设计特点与技术性能分析
¥12.2¥36 -
2022图书×抽奖盲袋
¥9.9¥25 -
2023读书月阅读盲盒——天黑,闭眼,刀谁?
¥42.3¥158