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微机电系统(MEMS)原理、设计和分析 版权信息
- ISBN:9787560622231
- 条形码:9787560622231 ; 978-7-5606-2223-1
- 装帧:暂无
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 所属分类:>>
微机电系统(MEMS)原理、设计和分析 内容简介
本书系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识,内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。
微机电系统(MEMS)原理、设计和分析 作者简介
p>作者简介 田文超,男,1968年出生,博士后,副教授,现在西安电子科技 大学机电工程学院从事教学与科研工作。主要研究方向为微传感器和 微执行器设计仿真、MEMS表面和界面分析以及电子封装技术。先后 主持或参与10项国家
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