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超大规模集成电路-基础.设计.制造工艺

超大规模集成电路-基础.设计.制造工艺

作者:岩田 穆
出版社:科学出版社出版时间:2008-01-01
开本: 16开 页数: 309 页
本类榜单:工业技术销量榜
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超大规模集成电路-基础.设计.制造工艺 版权信息

超大规模集成电路-基础.设计.制造工艺 本书特色

本书共分为上下两篇,上篇为基础设计篇,主要介绍VLSI的特征及作用、VLSI的设计、逻辑电路、逻辑VLSI、半导体存储器、模拟VLSI、VLSI的设计法与构成法、VLSI的实验等;下篇为制造工艺篇,主要介绍集成工艺、平板印刷、刻蚀、氧化、不纯物导入、绝缘膜堆积、电极与配线等。
本书内容丰富,条理清晰,实用性强,既可供超大规模集成电路研发和设计人员及半导体生产单位管理人员使用,也可作为各院校集成电路相关专业的本科生、研究生及教师的参考书。

超大规模集成电路-基础.设计.制造工艺 目录

上篇基础与设计
第1章VLSI的特征及任务
1.1 VLSI的概念与基本技术
1.1.1VLSI的基本技术与发明
1.1.2学科体系
1.2 VLSI的种类
1.2.1按功能分类
1.2.2按器件分类
1.3半导体技术路线图
1.4对系统的影响
1.4.1计算机系统
1.4.2通信网络系统
1.4.3数字家电系统
第2章VLSI的器件
第3章逻辑电路
第4章逻辑VLSI
第5章半导体存储器
第6章模拟VLSI
第7章无线通信电路
第8章VLSI的设计方法及构成方法
第9章VLSI的测试
下篇制造工艺
第10章LSI的制造工艺及其课题
第11章集成化工艺
第12章平版印刷术
第13章腐蚀
第14章氧化
第15章掺杂
第16章淀积绝缘膜
第17章电极和布线
第18章后工序——封装
引用·参考文献
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超大规模集成电路-基础.设计.制造工艺 节选

丛书序
    在刚刚过去的20世纪90年代,本学会飞跃性地拓展了相关学问及技术的宽
度与深度,当时与“电子信息通信技术”几乎是同义词的"IT”成为了媒体追逐的热
点,占据了新闻报纸的大量版面。
    即使人们对于"IT革命”的反应各不相同,但IT技术仍逐渐成为经济、行政、
教育、文化、医疗、福利、环境等全社会基础设施领域的技术支持,而全球技术评价
尺度也逐渐改变着世界文明结构和其在人们心中的分量,这是不容争辩的事实。
    另外,日本政府认为与IT技术并列成为科学技术政策重点的纳米技术和生物
技术也直接或间接地成为本学会的边缘学科。例如,对于工程技术来说,理论教育
色彩较浓的量子力学如今已成为纳米技术和量子计算机研究开发中不可或缺的理
论知识。
    本学会基于技术与人类及社会之间如此密切的关系以及学术范围的广度,
1999年组织了教科书委员会,历时两年时间拟定了新的教科书系列的体系,以大
专、本科生及研究生为对象,决定出版约60册涉及公共、基础、专业基础及应用等
各阶段的教材。
    本系列教材的特点是,不仅拓宽了读者的视野,还将重点放在了可视性的说
明,以便帮助读者加深理解。但是,被动的阅读方式很难让读者理解并利用所学内
容。而所谓的“掌握”,是以自己的理论来构筑研究对象。因此,希望将来从事研究
开发工作的学生务必以积极的阅读方式面对学习。
    如果有人问,IT社会给人类带来的普遍的价值是什么,那就是在安全的社会
中人们享受到更广阔的自由。
    哲学家黑格尔在一次关于历史的讲座中谈到:“所谓世界史,就是人类对于自由
意识的进步,……我们必须认识自由意识进步的必然性。”“自由”包含提高便利性、扩
大自己决定及选择的范围等各种各样的含义。基于电子信息通信技术的自由扩大,
也存在引起各种矛盾、摩擦等事实,但是目前这样负面的影响逐渐变得很小,我们应
该超越黑格尔的时代性、地域性的限制,把目标指向提高人类的幸福感,扩大自由上。
    本教材系列的诸位执笔者希望,学生以实现上述梦想为目的来学习本教材,不
久的将来充分发挥自己的才能。
    另外,1980年开始出版发行的电子信息通信学会大学系列教材,也秉承了现
   代价值观,希望读者和本教材系列结合阅读。
    *后,谨向在出版发行本教材系列的过程中给予诸多帮助的各位深表感谢。
  电子信息通信学会  教材委员会
    委员长  迁井重男
 前言
    以1948年发明的晶体管为起源的超大规模集成(VLSI:very large scale inte—
grated)电路*初用于1970年面世的微处理器和存储器,经过50年的历史,到了
21世纪的今天它仍然在飞速发展。硅芯片上集成的晶体管及布线的*小尺寸已
经微细化到100nm以下,集成规模达到10亿个,工作速度高达3GHz,而且敏感器
件的集成化、基于新原理的存储器件的研究也在进行中,在功能方面的进步更值得
期待。VLSI已经应用于信息、通信、家电、生产、医疗等领域,在未来全球性的信息
化社会中它更是不可缺少的器件。
    为了采用微细化的纳米技术使器件及布线的*小尺寸逐渐达到90nm、65nm、
45nm,必须发展能够与新的电路、系统结构以及庞大的集成规模相适应的设计技
术。正在开拓10GHz以上的超高速工作电路、1μW的超低功耗、O.5V的超低工
作电压的新的领域。伴随着微细化和大规模化,必须开发考虑到器件的偏差以及
特性变动的设计技术。另外,在模拟和数字混载(AD)的VLSI中,正在着力于开
发用数字电路补偿模拟电路精度等数字与模拟的整合技术。
    面对这种发展趋势,本书从设计的角度出发,从基础到尖端系统地介绍VLSI,
可以使大学本科生和研究生能够综合地加深对数字电路和模拟电路的理解。但是
由于篇幅有限,有些部分的叙述不够充分,更深入的理解也许还需要进一步查阅有
关文献或专著。另外,关于VLSI器件及制造工艺部分的内容将安排在本书的下
篇“制造工艺”中进行讲解,供参考学习。
  上篇作者  岩田  穆
    2006年8月



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